ATS無線晶圓校準與測量系統-瑞樂科技

ATS無線晶圓校準與測量系統巧妙地融合了機器視覺與傳感器模塊，將其集成于晶圓之上，從而能夠精準捕捉晶圓的偏移數據（包括x軸和y軸）。這一創新功能使得晶圓傳輸位置的快速校準成為可能，為半導體制程提供了無與倫比的晶圓定位精度。

產品亮點：

1. 實時測量反饋：系統能夠即時提供測量參數，助力操作人員迅速調整并優化生產流程，進而有效降低耗材成本。
2. 精準校準保障：通過提供準確的晶圓傳輸坐標，確保晶圓在生產流程中的精確定位，對于提升整體制造效率和產品質量起到了至關重要的作用。
3. 無線操作便捷性：ATS系統采用無線操作模式，減少了物理連接的限制，使得晶圓傳輸和處理更為靈活高效。
4. 工藝調整與驗證支持：系統能夠分析在特定工藝條件下收集的參數數據，以便調整工藝步驟，確保達到最佳性能。
5. 輕巧設計適應性：ATS系統設計輕巧，適用于多種設備和應用環境，尤其在空間有限的場所展現出極高的靈活性和便利性。
6. 低功耗長久運行：憑借低功耗特性，系統能在保持高性能的同時實現長時間穩定運行。