RTD無線晶圓測溫系統

RTD Wafer【晶圓測溫系統】，依托于我們自主研發的前沿技術，創新性地將RTD傳感器融入晶圓表層，從而能夠持續、穩定地追蹤并記載晶圓在整個制造流程中的溫度波動情況。這一系統為半導體生產線引入了一種革新性的監控手段，助力制造商精準把控和優化那些對產品質量至關重要的工藝參數。

瑞樂獨家研發的DUAL SHIELD技術，以其出色的抗干擾特性，確保了傳感器在復雜的干法刻蝕環境中仍能穩定運行，精準捕捉每一個刻蝕工藝的溫度變化。同時，我們的TEMP-BLOCK技術使得系統在高溫作業環境下，依然能夠提供準確的制程溫度監測。【晶圓測溫系統】

產品亮點：

1. 超高精度測溫：RTD傳感器提供±0.05℃的極致精度，保障半導體生產中的關鍵環節能在最優溫度條件下執行，對產品質量的把控至關重要。
2. 實時數據捕獲：RTD Wafer實現晶圓在熱處理和刻蝕過程中溫度變化的即時監控，助力生產線即時調整工藝參數，以達到生產效率的最優化。
3. 智能數據分析：系統搭載的軟件能對測量數據進行深入分析，為優化工藝參數提供數據支持，從而助力提升產量與產品質量。
4. 工藝調整與驗證：系統能夠分析在實際工藝條件下收集的溫度數據，為調整刻蝕等關鍵工藝步驟提供數據支撐，確保達到最佳性能。
5. 全方位熱分布監控：晶圓上最多可支持81個測溫點，同步進行溫度監測，繪制出全面的熱分布圖，為工藝優化提供全面視角。

RTD無線【晶圓測溫系統】不僅提升了半導體制造的精度與效率，更為整個行業帶來了革命性的溫度監測解決方案。